真空等离子清洗机

VP-R系列真空等离子清洗机

VP-R系列真空等离子处理仪对标国际品牌，*技术空白（专li：低温真空石英腔体等离子清洗装置），VP-R系列频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

VP-R系列真空等离子清洗机特点

VP-R系列真空等离子清洗机优势

01 Better Reliability，Better Operation

内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪

zuan利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作

采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况

中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好

电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行

清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）

PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调；可通入氮气泄压

功率高、中、低三挡可调

02对标国际yi线品牌，*技术空白

国内shou创，13.56MHz频率用于PLASMA处理

性能bi肩国际一线产商，在控制自动化，人性化设计方面国际领xian

通入气体和泄压是独立通道互不干扰；自动泄压比手动泄压更方便

腔体低温，满功率运行30分钟腔体温度不高于32°C，不损伤样品

腔体材质为石英，不与等离子体反应，保证样品不被污染

13.56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用

等离子体从腔体四周发出，对样品处理更均匀、更*

03细节把控，给用户更好体验

石英材质真空腔体不与等离子体产生反应，不会污染样品

配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高

真空泵与主机联动，可在触摸屏控制真空泵开启/关闭

1.5米不锈钢波纹管，比橡胶管更耐用，密封性更好

标配清洗托盘，方便使用

安捷伦Agilent干泵（选配），避免油气污染

OF-20油污过滤器（选配），避免排气口油气对实验室环境的污染

04经典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性

金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污

PDMS等离子活化改性，提升亲水性和键合力

ITO导电玻璃亲水性处理并提高其功函数

二维材料的清洁、刻蚀

硅片亲水性处理，改性、活化表面

05石墨烯粉末VP-R3亲水性处理XPS谱图分析

处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水，会粘在瓶壁上

处理后石墨烯粉末上下摇匀后，不会粘在瓶壁

处理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底，肉眼可见分层明显

处理后石墨烯粉末悬浮在水体，说明其亲水性增强

绿色曲线为处理前的XPS谱图，曲线一直都是平稳走向

红色曲线为处理后的XPS谱图，曲线在285eV左右有个峰值，

可知石墨烯粉末的性质已改变

处理后石墨烯导热率可提高40%，稳定性增强

06 ITO导电玻璃等离子VP-R3处理接触角测量仪分析

CM-180接触角测定可知，未处理ITO接触角为80°C，处理后ITO接触角48°C，亲水性明显增强

处理前平均接触角、右接触角和左接触角三条曲线分离，处理后三条曲线重合，说明ITO表面更平整

VP-R系列满功率运行30分钟腔体温度低于32°C，非常适合ITO导电玻璃不耐热属性

通入氧等离子体时，可以提高ITO导电玻璃的功函数


VP-R系列真空等离子清洗机技术规格

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